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摘要
纳秒激光所制微孔在工业领域中具有广泛的应用。然而，孔壁重铸层的存在降低了微孔的使用性能和寿命。如何减小重铸层厚度并提高孔壁光洁度，有待进一步深入研究。以镍基高温合金为研究对象，通过对比有无超声辅助纳秒激光制孔，分析了水基超声辅助对微孔几何尺寸及孔壁粗糙度、重铸层的影响。结果表明，对于纳秒激光所制通孔，超声辅助可使微孔的出口孔圆度误差减小，锥度增加，同时降低孔壁粗糙度，并且可以减少孔壁重铸层，提高微孔质量。然而在试验条件下，水基超声辅助对所制盲孔的几何尺寸和孔壁形貌的影响不大。由此可见，在超声辅助下，纳秒激光制孔的质量可以得到一定程度的改善。
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