图形化FeNi纳米颗粒薄膜制备与性能研究

作者：欧修龙; 熊仙; 王迪; 王绍明

来源：兵器材料科学与工程, 2021, 44(03): 88-93.

DOI：10.14024/j.cnki.1004-244x.20210318.003

• 软磁薄膜
• 磁性能
• 电场辅助沉积
• 面内单轴磁各向异性

采用电场辅助沉积技术和光刻剥离工艺,在5～40 kV沉积电场作用下,以Si(100)为衬底,制备一系列条纹宽度为40μm的Fe50Ni50纳米颗粒薄膜材料。采用XRD、SEM、AFM及VSM等测试方法,研究薄膜结构、形貌和磁性能;用单端口短路微带线法对其微波性能进行表征。结果表明:增加沉积电场大小,可方便、有效实现条纹结构Fe50Ni50纳米颗粒薄膜饱和磁化强度MS和面内单轴磁各向异性场Hk值同时提高,使薄膜铁磁共振频率向更高频段移动。

• 单位
  汉江师范学院