本发明公开了一种基于有机物修饰的硅纳米线湿度传感器,该传感器由硅衬底、有机物修饰的硅纳米线及插指电极构成,硅衬底用于生长和承载硅纳米线,硅纳米线上修饰有机物,有机物修饰的硅纳米线顶部制作插指电极；通过化学刻蚀法制得硅纳米线,然后用有机物对硅纳米线表面进行修饰改性,再用导电银浆以丝网印刷的方法在其顶部制作插指电极,引出导线。本发明的传感器制作简便,回复性好,湿滞小,响应快,性能稳定,易于实现微型化。
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