采用集总参数建模方法，将微悬臂梁系统等效为弹簧质量阻尼系统。应用极点留数法，推导出MEMS中微悬臂梁在高斯白噪声随机激励下的瞬态均方响应的封闭解。结果表明极点留数法不仅比时域法和频域法更有效，而且避免了在时域计算积分的繁琐过程。最后讨论了阻尼比及噪声强度对系统瞬态均方响应的影响规律。
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