基于MEMS谐振式气压传感器的数字高度计研制

作者：范贤光; 冒海凌; 王昕; 许英杰

来源：传感器与微系统, 2023, 42(10): 68-71.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)10-0068-04

• 数字高度计
• MEMS谐振式压力传感器
• 温度补偿

基于一种高精度MEMS谐振式气压传感器研制了用于辅助导航高度通道定位的数字高度计，利用谐振式压力传感器采集大气静压，并进行气压高度转换。采用复杂可编程逻辑器件(CPLD)+单片机(MCU)的硬件架构，通过等精度数字频率计和16位模/数(A/D)转换器测量气压传感器输出的频率信号和电压信号，并进行温度补偿；然后分析气压高度转换过程中的误差来源，通过对拟合的气压进行IIR数字滤波并且根据实际大气和温度条件进行原理误差补偿，提高了高度输出精度。实验结果表明：数字高度计的气压测量在整个工作温度范围内都具有良好的精度，满行程最大误差小于0.02%FS;实测气压高度转换的误差小于0.8 m,具有良好的工程应用价值。

• 单位
  航天学院; 厦门大学