阐述满足喷墨打印OLED的装备对定位平台的要求，探讨一种用于喷墨打印OLED的亚微米级直线电机直接驱动气浮运动平台的设计，采用有限元分析软件对平台进行静力学和动力学分析。此运动平台的运动定位精度小于0.8μm，重复定位精度小于0.2μm。实验结果表明，运动平台达到设计要求。
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