超硬薄膜制备技术与性能表征方法的研究进展

作者：郑凤新

来源：表面技术, 2012, 41(06): 99-103.

DOI：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2012.06.009

• 超硬薄膜
• 制备技术
• 性能表征 super hard films
• fabrication technique
• property characterization

超硬薄膜能够显著提高材料的关键服役性能。系统总结了超硬薄膜的硬化机制、制备技术以及性能表征方法,分析了制备技术和性能表征方法的优缺点,指出了超硬薄膜研究发展的方向。