耐高功率声表面波器件多层复合金属薄膜电极的分析

作者：赵志娟; 刘永红; 雷雅雯; 张虹; 雷顺京

来源：电子技术, 2023, 52(11): 4-5.

• 声表面波(SAW)
• 功率特性
• 多层复合
• 金属薄膜电极

阐述一种采用多层复合金属薄膜电极的方法来提高声表面波器件的耐功率特性。试验结果表明，这种多层复合金属薄膜电极比纯铝电极有更高的功率承受力。