碲镉汞液相外延石墨舟的温度场均匀性改善

作者：陆骏; 李东升^*; 木胜; 万志远; 朱辉; 薄俊祥; 杨岸; 黄元晋; 王志斌

来源：红外技术, 2019, 41(04): 299-304.

• 石墨舟
• 温度场均匀性
• 碲镉汞
• LPE

对碲镉汞液相外延(Liquid phase epitaxy, LPE)石墨舟进行了数值模拟,计算了石墨舟温度场分布。通过在母液周围加入石英框,分析其对温度场的影响,得到了石英框壁厚与温度分布的关系。模拟发现,在母液周围加入石英框结构,可以提高外延生长界面温度场均匀性。最后,将分析结果与实验相结合,进行实验验证,成功降低了边界效应对碲镉汞薄膜的影响,外延生长出厚度极差??为1.4?m、组分极差?x不超过0.002的长波碲镉汞薄膜。

• 单位
  昆明物理研究所