用两步阳极氧化法简便快捷地制备出低成本TiO2纳米碗阵列。固定阳极氧化电压、实验温度和电解液浓度等因素、改变第二次阳极氧化时间并结合扫描电镜等测试手段考察阵列碗状结构的形成过程,从阵列的形成机制研究了TiO2纳米碗内TiO2阻挡层的纵向生长、电解液的溶解、纵向腐蚀及横向扩展之间关系的变化。结果表明,当纵向生长与纵向溶解、纵向腐蚀与横向扩展达到平衡时,TiO2碗内纳米孔消失,孔径与碗口直径相同。当第二次阳极氧化时间为110 s时,合成出133 nm的TiO2纳米碗状阵列。