微型半导体制冷器在芯片散热的应用分析

作者：于跃东; 左政

来源：集成电路应用, 2023, 40(09): 19-21.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2023.09.008

• 半导体制冷器
• 集成电路散热
• 微型热电器件
• 主动控温

阐述半导体制冷器的发展状况，包括锭材切割工艺、MEMS工艺和CMOS工艺制备微型半导体制冷器的特性和应用，并展望微型半导体制冷器未来发展趋势。

• 单位
  中国电子信息产业发展研究院