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摘要
本发明涉及一种基于黑点对焦的光轴垂直度误差判断、校正方法及设备,该误差判断方法首先进行粗对焦,依次完成三组呈直角三角形式分布的标定样结构,通过黑点测试确定三个标定样加工位置的精确对焦距离,并以此结合相邻标定样结构边长,计算出加工平面沿X和Y向的平面倾斜率,并根据平面倾斜率的大小判断光轴垂直度是否存在误差。该误差判断及校正方法解决了双光子聚合加工过程中由于激光焦点和加工平面的不对焦所导致的结构残缺问题,且具有简单、方便、高精度的优势,能进一步实现对加工平面平整度,即光轴垂直度误差判断及校正。
- 单位
