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摘要
作为典型的硬脆材料，氧化镓晶体(β-Ga2O3)加工时易裂解。金刚石线锯是生产β-Ga2O3晶片的主要方式，切片加工过程中会在晶片表面产生微裂纹损伤层，应力作用下微裂纹会发生扩展，导致材料破碎和断裂。本文建立了金刚石线锯多线切割β-Ga2O3(010)晶面的有限元模型，研究了锯切过程中机械应力、热应力和热力耦合应力的分布变化规律，分析了锯丝速度、进给速度和恒速比下不同参数组合对热力耦合应力的影响。结果表明，锯切过程中锯切热产生的热应力占据热力耦合应力的主导地位，锯切力引起的机械应力占比较小，但机械应力会影响热力耦合应力的分布情况，锯丝速度和进给速度的增加会引起热力耦合应力的增加。
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