基于低损耗氮化硅光波导平台，采用一个1×6阵列波导光栅（AWG）与六个仅中心波长不同的1×25AWG两级级联的架构，优化设计了集成光谱分析芯片。仿真结果表明，该光谱分析芯片的工作带宽、波长分辨率、最小通道插损分别为75 nm、0.5 nm和4.9 dB，且通道间最小相邻、非相邻串扰约为-27.7 dB、-23.0 dB，最大相邻、非相邻串扰约为-22.6 dB、-12.5 dB。
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