本发明公开了一种基于蓝宝石衬底外延的准垂直器件及其制备方法,包括：衬底；p型氧化物异质外延层,位于衬底上；氧化镓外延层,位于p型氧化物异质外延层上；p型氧化物异质外延层与氧化镓外延层共同组成复合栅结构；阴极金属,位于氧化镓外延层上；阳极金属,位于p型氧化物异质外延层上,且至少部分环绕氧化镓外延层；通过阴极金属和阳极金属向复合栅结构施加偏置电压；其中,p型氧化物异质外延层、阳极金属、氧化镓外延层和阴极金属共同组成异质pn结准垂直器件。本发明能够扩大氧化镓外延薄膜器件的应用范围。
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