扫描反射镜超精密飞切加工工艺

作者:张万清; 康杰; 郭彦军; 刘尧; 姚同; 邱红方; 邹俊东; 骆彦冰
来源:工具技术, 2022, 56(07): 104-108.

摘要

扫描反射镜在红外光学、空间遥感等领域有着重要应用,由于其薄壁特征以及铝合金材料质软性,在制造过程中极易产生加工变形,导致反射镜面形精度很难满足光学系统需求。本研究通过飞切仿真和装夹变形模拟,分析飞切加工中切削参数和装夹方式对扫描反射镜面形精度的影响。研究表明,采用较高的主轴转速、较低的进给速度和切削深度,可使工件表面张力和切削力减小,切削过程稳定;采用后端面支撑的方式进行装夹,可减小加工变形。对扫描反射镜进行飞切加工验证实验,并借助Zygo激光干涉仪检测面形精度,结果显示,加工后工件面形误差PV值为0.186μm,满足光学系统需求。