PbSe单晶薄膜的分子束外延及其表面微结构

作者：徐天宁; 吴惠桢; 斯剑霄; 曹春芳; 黄占超

来源：材料研究学报, 2006, (06): 621-625.

• 无机非金属材料
• PbSe单晶薄膜
• 分子束外延
• 应变弛豫
• 螺旋结构 inorganic non-metallic materials
• PbSe single crystal thin films
• molecular beam epitaxy
• strain relaxation
• spirals

用分子束外延技术在BaF_2(111)衬底上生长了PbSe单晶薄膜,观测了表面形貌和微结构．结果表明,在高Se/PbSe束流比(≥0．4)条件下,PbSe按照二维层状模式生长,外延层中的应力通过位错滑移发生塑性形变而获得充分弛豫,获得的PbSe薄膜是具有单原子层平整度的表面台阶和螺旋结构；降低Se/PbSe束流比至0．2,首次在PbSe样品表面观察到规则的三角形纳米孔状结构；当Se/PbSe束流比为0时,PbSe薄膜表面出现三维岛状结构,应力只能得到部分弛豫．在BaF_2(111)衬底上分子束外延生长PbSe单晶薄膜的最佳温度为450℃．

• 单位
  浙江大学; 信息功能材料国家重点实验室; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所