高温热处理气氛对低氟MOD法制备YBCO超导薄膜的影响研究

作者：高昶; 赵晓辉; 夏钰东; 张飞; 陶伯万

来源：低温物理学报, 2011, (01): 51-55.

• MOD
• YBCO薄膜
• 气体流速
• 氧分压 MOD
• YBCO films
• gas flow rate
• oxygen partial pressure

金属有机物沉积法(MOD)制备YBa2Cu3O7-x(YBCO)涂层导体是最具有商业前景的方法之一.本文使用环烷酸铜代替三氟乙酸铜,降低了前驱液中大约50%的氟含量.然后在带有缓冲层(Y2O3/YSZ/CeO2)的Ni-5at.%W基带上采用MOD法制备了YBCO薄膜并系统研究了高温热处理过程中气体流速和氧分压对YBCO薄膜的结构、表面形貌以及性能的影响.X射线衍射(XRD)分析表明在不同的气体流速下,薄膜均呈现明显的YBCO(00l)取向.扫描电镜(SEM)分析显示气体流速较低时制备的薄膜表面较为平整,孔洞较少且无裂纹,而气体流速较高时制备的薄膜表面粗糙,孔洞较多.在不同的氧分压下,虽然所有...

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室