基于ANSYS的MEMS离子源测试用高真空腔设计与分析

作者：周缘; 冉澳; 吴奕恒; 谢元华^*; 刘坤^*

来源：真空, 2022, 59(03): 16-19.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2022.03.04

• ANSYS
• 高真空腔体
• 出气
• MEMS离子源

设计了一种适用于MEMS离子源测试用的高真空腔体。根据目前质谱测试用高真空腔的相关研究，针对高真空获得能力、保持能力及频繁使用的简便性，综合考虑结构强度、内壁出气等因素，选用了同时满足强度与低出气率的筒型结构。基于ANSYS软件，综合分析了高真空下该腔体的结构稳定性及危险点分布，确定了优化的腔体壁厚选择范围。该研究可为高真空腔体的设计提供理论依据。

• 单位
  东北大学; 自动化学院