基于Fabry-Perot的高灵敏度局部放电检测传感器

作者：吴明孝; 李雪桓; 周少珍; 杨威; 付刚

来源：传感器与微系统, 2023, 42(07): 90-93.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)07-0090-04

• 光纤传感器
• 光纤法布里—珀罗
• 氮化硅膜
• 波纹膜结构

提出了一种用于局部放电检测的高灵敏度微型光纤法布里—珀罗(F-P)传感器。利用MEMS技术由单模光纤端面和具有波纹结构的氮化硅(Si3N4)膜构成。实验分析了传感器不同膜片结构的性能。结果表明：所提出的传感器1 kHz声信号下，声压为38.86 mPa时，信噪比为80.18 dB,最小可探测声压为3.07μPa/Hz1/2。此外，该传感器具有平坦的频率响应和线性的声压响应，同时具有极高的灵敏度和微小的尺寸，适合局部放电的检测实际应用。

• 单位
  国网河南省电力公司电力科学研究院