磁控溅射Ti-Al-N复合膜的摩擦磨损性能分析

作者：陆昆; 杨海^*

来源：宁德师范学院学报(自然科学版), 2023, 35(02): 138-142.

DOI：10.15911/j.cnki.35-1311/n.2023.02.002

• Ti-Al-N薄膜
• 真空磁控溅射技术
• 摩擦磨损
• Al原子
• 摩擦系数

采用真空磁控溅射技术的方法制备了不同Al质量分数的Ti-Al-N薄膜，分别研究了室温及高温下不同Al质量分数的Ti-Al-N薄膜的摩擦磨损性能.研究结果表明，Al质量分数和温度都对薄膜的摩擦磨损性能产生较大的影响.室温时，当Al质量分数为49.97%时，薄膜的平均摩擦系数最小，为0.772 3；高温条件下，薄膜的摩擦系数显著低于室温条件下，当Al质量分数为39.51%时，平均摩擦系数最小，为0.379 2.

• 单位
  滁州城市职业学院