半导体工业超纯水的技术指标及其制备概述

作者：戴梅红

来源：门窗, 2019, (11): 234.

• 半导体工业
• 超纯水
• 技术指标
• 制备技术

针对目前半导体工业超纯水制备工作开展过程存在的问题,文章从实践角度出发,分析了超纯水的技术指标要求,并提出了制备技术的控制策略。结果表明,只有在明确技术指标要求前提下,才能使制备工艺措施运用起到事半功倍效果。