离子注入机静电夹持晶圆的温度仿真研究

作者：卓祖亮; 张磊; 张丛; 石倩楠

来源：电子工业专用设备, 2020, 49(06): 13-16.

• 离子注入机
• 静电夹持
• 晶圆温度值分析

介绍了离子注入机的结构原理、常用注入机的类型及其应用,以及夹持并冷却晶圆的关键部件——静电吸盘。构建了离子注入时晶圆的热仿真模型,对晶圆表面的温度分布进行了数值分析计算。