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摘要
<正>本文根据弹性发射加工特点以及其精度要求,搭建了一套用于弹性发射加工的装置,并对抛光过程中的抛光正压力和抛光距离进行了分析,通过对石英玻璃进行抛光实验验证了本装置可以用于弹性发射加工,且抛光后石英玻璃表面粗糙度有所降低。弹性发射加工(Elastic Emission Machining)是一种超精密抛光加工方法,常作为光学表面的最后一道抛光工序,光学表面在经过EEM抛光后表面粗糙度可以达到纳米级甚至亚纳米级[4-5]。EEM属于非接触式抛光,抛光时抛光头与工件之间不直接接触而是存在几微米至几十微米的间隙,
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