为使平晶测量不确定度达到nm级,研究了一种基于多角度旋转的全面形测量方法。介绍了平面标准平晶传统的三面互检法,提出了波前分离技术,将一个波前分为旋转变化部分与旋转不变部分,实现了被测平晶的绝对测量。通过实验及国际比对结果表明,该测量方法的不确定度达到7 nm,保证了我国平面度计量水平的国际先进地位。
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