CSS法制备CdZnTe薄膜时衬底温度的影响规律

作者：袁妍妍; 介万奇; 高俊宁; 査钢强

来源：功能材料, 2011, (05): 890-893.

• CdZnTe薄膜
• 近空间升华法
• 太阳能电池
• 形貌
• 结构 Cd1-xZnxTe films
• close-spaced sublimation(CSS)
• solar cell
• morphology
• instructure

采用近空间升华法(close-spaced sublima-tion,CSS),以CdZnTe化合物粉料为原料制备了CdZnTe薄膜,采用XRD、SEM、紫外光谱仪等对其进行了性能表征,并研究了不同生长温度对薄膜生长速率、结构、Zn含量和光学特性的影响规律。研究结果表明,薄膜的生长速率随着生长温度的升高而增大,且温度>528℃时生长速率迅速增大;不同温度下制备的CdZnTe薄膜结构均为立方相,且都表现出沿(111)晶面的择优生长,高温时择优取向更强一些;晶粒尺寸随着温度升高而增大,在438℃时颗粒尺寸约为1μm,而568℃时约为20μm;薄膜禁带宽度受温度影响不大,在1.49～1.51eV之间...

• 单位
  凝固技术国家重点实验室; 西北工业大学