湿法腐蚀清洗设备对废气的排放有很高的要求,排放的好坏直接关系到操作人员安全、厂务能源的消耗以及成品率。本文主要通过ANSYS对设备内的流场进行研究分析。首先,建立流场数值模型和几何模型并对流场进行数值计算。然后,改变化学槽废气的流速分析流场特性,并提出抑制废气循环流动解决方案。