掺铝氧化锌薄膜的红外性能及机制

作者：付恩刚; 庄大明; 张弓

来源：金属学报, 2005, (03): 333-336.

• 磁控溅射
• ZAO薄膜
• 红外反射

采用中频交流磁控溅射氧化锌铝(ZnO+2％Al2O3)陶瓷靶材的方法制备了掺铝氧化锌ZAO(ZnO:Al)薄膜.利 用红外光谱仪测试了薄膜的红外反射性能,研究了薄膜厚度、基体温度和氩气压力对ZAO薄膜红外反射性能的影响规律,确定了 制备具有高红外反射率的ZAO薄膜的工艺参数.

• 单位
  香港大学; 清华大学