面向倏逝波传感的微槽式谐振腔设计及制备

作者：祝敏; 崔建功; 余亚鑫; 楚晓霞; 张**; 杨玉华; 王任鑫; 何常德; 张文栋^*

来源：微纳电子技术, 2022, 59(11): 1205-1210.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2022.11.014

• 微环谐振腔
• 光波导
• 倏逝场效应
• 微纳加工
• 品质因数

针对二氧化硅波导腔在倏逝波传感领域的应用，研制了一种微槽式二氧化硅光波导微环谐振腔结构。基于耦合模理论，分析了微槽式二氧化硅光波导微环谐振腔的传输特性和特征参量，优化了结构参数。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术进行了器件的加工。搭建了测试系统并对制备得到的谐振腔进行品质因数(Q)测试以及声传感测试。测试结果表明，Q值可达1.69×106,在1 kHz、5 Pa的声压下，信噪比可达22.975 dB。相较于传统的掩埋式微环谐振腔结构，此设计的微槽式微环谐振腔倏逝场效应更强，在倏逝波传感领域有着更好的应用潜力。

• 单位
  中北大学