籽晶层对喷雾热分解法生长ZnO薄膜结晶质量和光电性能的影响

作者：赵俊亮; 李效民; 古彦飞; 于伟东; 杨长

来源：发光学报, 2006, (06): 933-938.

• ZnO薄膜
• 籽晶层
• 喷雾热分解法
• 结晶质量
• 光电性能 ZnO film
• seeding layer
• spray pyrolysis
• crystal quality
• photoelectric property

通过脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上沉积一层高质量的ZnO籽晶层,在籽晶层上进一步采用超声喷雾热分解(USP)法生长ZnO薄膜,研究了籽晶层对ZnO薄膜结晶质量和ZnO/Si异质结光电特性的影响。研究结果表明,在籽晶层的诱导作用下,USP法生长ZnO薄膜由多取向结构变为(002)单一取向,结晶性能得到了显著改善;籽晶层上生长的薄膜呈现出垂直于衬底生长的柱状晶结构,微观结构更加致密。通过研究紫外光照前后ZnO/Si异质结的整流特性,发现引入籽晶层后,反向偏压下异质结的光电响应显著增加,并且在开路状态下出现明显的光伏效应。

• 单位
  中国科学院上海硅酸盐研究所; 中国科学院研究生院; 高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室