Angel型平面龙虾眼光学器件微孔统计特性测试和分析

作者：黎龙辉; 张臣; 金戈; 袁为民; 李臻; 顾燕; 张振; 徐昭; 姜博文; 廖亦戴; 吴超; 李玉飞; 郭燕; 秦天; 凌志兴; 赵冬华

来源：光学学报, 2021, 41(03): 190-196.

• 光学设计
• 平面龙虾眼光学器件
• 聚焦成像
• Tilt型缺陷
• 角分辨率

为了研究Angel型平面龙虾眼光学器件微孔统计特性对聚焦成像性能的影响,研发了一套点对点的真空X射线束流测试装置,采用微焦斑X射线束对研制的光学器件进行了聚焦成像测试。通过利用刀口狭缝系统对平面龙虾眼光学器件进行二维扫描测试,发现光学器件的不同区域存在不同程度的Tilt型工艺缺陷;基于蒙特卡罗软件模拟了Tilt工艺缺陷对聚焦成像的影响。实验结果表明:实验所采用的平面龙虾眼光学器件能在3650 mm焦距处将入射的X射线束会聚成清晰的十字图像,焦斑最大半峰全宽约为4.63 mm,对应的角分辨率最大约为4.36′,点扩展函数的不均匀性约为33.7%。模拟结果表明:Tilt型工艺缺陷会导致中心亮斑强度下降,十字线弥散、不连续,二次焦斑畸变,成像质量变差。