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摘要
努森真空泵是一种热能驱动的无运动部件的真空泵，因其内部微通道本身就是一种特殊的管道，故也存在流导。本文建立了努森真空泵内部微通道流导的蒙特卡洛模拟模型。计算结果表明，就矩形微通道而言，若长宽比不变，则流导随高宽比的增大而近似线性地增大；若截面积不变，则流导随长度的增加而减小；若长度较短，则流导随高宽比的增大而减小，但随着长度的增加，由高宽比变化引起的流导变化幅度逐渐减弱。此外，圆形微通道流导的性能优于椭圆形和矩形的，短微通道流导的性能较长微通道的好，适当增加截面面积可较明显地提升流导性能。
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