激光晶体生长炉高精度晶体称重装置设计

作者：左海涛; 纪文刚; 李建鸿; 张睿平

来源：化工机械, 2019, 46(02): 187-191.

• 高精度称重装置
• 激光晶体生长炉
• 机械结构
• 有限元分析
• 控制系统

针对激光晶体生长过程中晶体重量增长缓慢、现有称重装置精确度不高的问题,设计了一种用于激光晶体生长炉的高精度晶体称重装置。实测结果表明,该称重装置结构简单合理,机械结构的强度和刚度满足要求,与激光晶体生长炉适配性高,稳定性好,大幅提高了晶体称量精度。

• 单位
  北京石油化工学院; 北京化工大学