三端梁结构MEMS红外光源设计与仿真研究

作者：李海生; 许高斌; 冯建国; 马渊明

来源：传感器与微系统, 2023, 42(04): 43-46.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)04-0043-04

• 微机电系统
• 红外光源
• 三端梁结构
• 金属反射层

设计并研究了一种三端梁结构的微机电系统(MEMS)红外光源，用于非色散红外吸收光谱气体传感器。MEMS红外光源以硅(Si)为基底，铂/钛(Pt/Ti)层为加热单元和传感单元，采用圆环状电阻结构实现了低功耗和良好的温度均匀性。光源采用三梁固支悬浮薄膜结构，有效地降低了辐射区热量向基底的传导。红外光源采用预释放的工艺方法，解决了Si基释放不完全导致的热传导过大的问题。在玻璃衬底淀积铜作为反射层，并与Si结构层进行阳极键合，使红外光有效地向正面发射并通过悬膜射出，提高红外光利用率。设计的MEMS红外光源结构简单，具有良好的可靠性，易于规模化制造。

• 单位
  合肥工业大学