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摘要
介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的方法和装置。装置以双纵模热稳频He Ne激光器为光源。理论及实验均证明该光源的频差有较高的稳定度 (室外不低于 1× 10 -7)和强的抗干扰性 ,拍波频率约为75 0MHz ,拍波长约为 4 0 0mm。该装置以拍波合成的场强信号的节点为对准标志 ,以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验表明 ,该装置的节点定位精度小于 0 .0 5mm ,尾数测量部分分辨率为 0 .0 8μm ,整个测量系统可在 2 0m范围内进行精度为± 5 0 μm +1.5× 10 -6·L(L为被测长度 ,单位为m)的测量。
- 单位
