静电力驱动在现代传感技术中的应用

作者：孙浩诚

来源：通讯世界, 2018, (08): 228-230.

• 静电力驱动
• 微机械陀螺
• 谐振式加速度传感器
• 谐振式压力传感器

本文介绍了静电驱动的原理和优势,综述了静电力驱动在微机械陀螺、谐振式加速度传感器和谐振式压力传感器近年来的研究现状。最后指出了静电力驱动现阶段存在的问题并提出了解决方案。