提出了一种太赫兹腔体滤波器的制备方法,即通过微细电解线切割技术制作出镍牺牲芯模,镍芯模表面电镀金后进行选择性溶解,最终得到太赫兹滤波器腔体。研究发现,当电流密度为0.5 A/dm2时,可获得最佳微缝处电镀金形貌,在镍蚀刻剂TFG溶液中进行超声辅助加热,48 h后镍芯模即可全部去除。采用这种方法,成功制作出了端面和内腔形貌良好的WR1.0太赫兹腔体滤波器,经矢量网络电性能测试,该器件传输和反射性能良好,有望大规模应用于太赫兹系统中。
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