双极电化学法制备有机电化学晶体管阵列

作者：付银鹏; 王红旺; 王靖宵; 王磊; 菅傲群; 张文栋; 冀健龙^*

来源：半导体技术, 2020, 45(07): 524-529.

DOI：10.13290/j.cnki.bdtjs.2020.07.006

• 聚(3,4-乙烯二氧噻吩)(PEDOT)
• 双极电化学
• 有机电化学晶体管(OECT)
• 生物传感器
• 阵列

有机电化学晶体管(OECT)被广泛应用于生物传感领域,制备阵列化器件有利于提高传感器的测试通量,降低制造成本。研究了双极电化学在OECT交流电沉积制备中的应用。基于扫描电子显微镜和数字源表,探究了交流电压频率对聚(3,4-乙烯二氧噻吩)∶聚(苯乙烯磺酸)(PEDOT∶PSS)薄膜形貌和OECT器件性能的影响。实验结果表明,交流电压频率从100 Hz增加到1 000 Hz时,PEDOT∶PSS薄膜的宽度从7.5μm减小到3μm,器件的最大跨导值从1.5 mS减小到0.2 mS,电流开关比从330降低到78,响应时间从9.42 ms下降到4.25 ms。使用该方法制备的OECT具有较好的重复性。最后,将微电极对的个数增加到5对,制备了1×5 OECT阵列器件,OECT阵列的性能具有较好的均一性。

• 单位
  博奥生物集团有限公司; 太原理工大学