正弦余弦算法支持向量回归在MEMS剪应力传感器温度补偿中的应用（英文）

作者：张佳^*; 陈永禄; 张莉; 宫小清

来源：Journal of Measurement Science and Instrumentation, 2023, 14(03): 263-269.

• 微机电系统
• 剪应力传感器
• 温度补偿
• 正弦余弦算法
• 支持向量回归

为解决电容式微机电系统(Micro-electromechanical system, MEMS)剪应力传感器输出信号随工作环境温度变化产生漂移的问题，提出了基于正弦余弦算法的支持向量回归(Sine cosine algorithm-support vector regression, SCA-SVR)温度补偿算法。首先，利用SVR对传感器温漂进行补偿；其次，基于SCA对SVR的超参数进行优化；最后，将所提出的SCA-SVR温度补偿算法与广泛应用的粒子群支持向量回归(Partical swarm optimization-support vector regression, PSO-SVR)算法进行实物实验对比。结果表明，基于SCA-SVR的温度补偿算法能够有效地对电容式MEMS剪应力传感器的输出温漂进行补偿，SCA-SVR算法补偿后的传感器输出信号与整定值间的相关系数提高至0.999 6,均方根误差降低至0.009 9 mV,比PSO-SVR算法补偿后的结果降低了一个数量级。

• 单位
  中软国际科技服务有限公司; 电子工程学院; 西安航空学院; 中国飞行试验研究院