<正>（接2023年第4期88页）值得指出的是，平行圆板形电容耦合的RF-PCVD装置在沉积过程中上极板上的沉积物较容易脱离而沾污沉积膜层，影响膜层质量。有时，膜厚均匀性也不够理想。2.5.3电感耦合RF-PECVD装置电感耦合装置，一般是把高频线圈置于真空沉积反应室外，利用它产生的交变磁场在反应室内感应交变的电流，
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