深振荡磁控溅射复合沉积CrN/TiN超晶格薄膜的结构和性能

作者：欧伊翔; 潘伟; 雷明凯

来源：稀有金属材料与工程, 2018, 47(S1): 330-334.

• CrN/TiN超晶格薄膜
• 深振荡磁控溅射
• 脉冲直流磁控溅射
• 摩擦磨损
• 腐蚀

分别采用深振荡磁控溅射(deep oscillation magnetron sputtering,DOMS)复合脉冲直流磁控溅射(pulsed dc magnetron sputtering,PDCMS)技术和单一的PDCMS技术,沉积厚度为2μm、调制周期为6.3 nm的Cr N/Ti N超晶格薄膜。利用XRD、SEM和TEM表征薄膜的结构。利用纳米压痕仪、划痕仪和空气电阻炉分别测试薄膜的力学性能、结合力和热稳定性。利用球-盘式摩擦磨损试验机测试薄膜的摩擦学性能。利用阳极极化实验测试薄膜在3.5%(质量分数)Na Cl溶液中腐蚀性能。研究表明,与单一的PDCMS技术相比,DOMS+PDCMS复合技术显著改善了Cr N/Ti N超晶格薄膜结构,薄膜具有更优异的力学性能、持久的耐磨减摩性和抗腐蚀性能。

• 单位
  大连理工大学; 新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室; 清华大学