半绝缘等离子体波导太赫兹量子级联激光器工艺研究

作者：黎华; 韩英军; 谭智勇; 张戎; 曹俊诚

来源：Acta Physica Sinica, 2010, 59(03): 2169-2172.

• 太赫兹
• 量子级联激光器
• 波导
• 器件工艺 terahertz
• quantum-cascade laser
• waveguide
• device process

采用气态源分子束外延设备生长了GaAs/AlGaAs束缚态到连续态跃迁结构的太赫兹(THz)量子级联激光器(QCL)有源区结构,研究了半绝缘等离子体波导THzQCL的器件工艺,采用远红外傅里叶变换光谱仪以及探测器测量了器件的电光特性.器件激射频率为3·2THz,10K下的阈值电流密度为275A/cm2.

• 单位
  中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 信息功能材料国家重点实验室