科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
本发明属于材料表面改性技术领域,公开了一种制备Ti-Mo-N润滑涂层的镀膜处理方法。基体材料经清洗后置于电弧离子镀膜机的镀膜腔室内,抽真空至8×10-3Pa以下；通入氩气,对基体材料进行辉光放电清洗,然后点燃Cr靶阴极蒸发源对基体材料进行溅射清洗,最后在氮气压力1.2Pa或1.8Pa,通过Ti-Mo合金靶阴极蒸发源,Mo原子占比为8％,在靶电流105A条件下进行薄膜沉积制备,得到Ti-Mo-N润滑涂层。本发明通过设计基体预处理工艺和镀膜工艺,所制备的涂层兼具较高的硬度和较低的摩擦系数,涂层与基体的结合力良好,沉积速率高。
- 单位
