BaTiO_3铁电薄膜的研究进展

作者：张建辉

来源：金属功能材料, 2007, (03): 37-40.

DOI：10.13228/j.boyuan.issn1005-8192.2007.03.009

• BaTiO3
• 铁电薄膜
• 动态存储器
• 介电常数 BaTiO3
• ferroelectric thin films
• DRAM
• dielectric constant

本文综述了近年来BaTiO3铁电薄膜的研究进展,就BaTiO3薄膜的制备方法、性能及其影响因素,深入分析了BaTiO3薄膜制备技术的优、缺点,展望了其应用前景。

• 单位
  长沙环境保护职业技术学院