测量压电式微压传感器灵敏度的新方法

作者：王丽坤; 朱同淑; 李书相; 李光; 张福学

来源：传感器与微系统, 2006, (02): 76-77.

DOI：10.13873/j.1000-97872006.02.026

• 压电
• 微压传感器
• 灵敏度
• 测试系统 piezoelectricity
• micropressure sensor
• sensitivity
• measuring system

研制了一套压电微压传感器的性能测量系统,它采用均匀声腔硅油介质中传播的声波作为压力源,标准传感器和被测传感器同时接收波动声压,比较两传感器的输出,测定被测传感器的灵敏度及频响。实验测试了3只压电式微压传感器,结果表明:传感器的灵敏度平均为3.0mV/Pa,工作频率为20~2 000Hz,灵敏度随频率波动小于0.5mV/Pa,灵敏度重复偏差小于0.24mV/Pa。

• 单位
  北京邮电大学; 北京信息科技大学