摘要

氦质谱检漏具有灵敏性好、精准性高的优点。将氦质谱应用于电气设备SF6气体的检漏中,较传统的检漏方法具有定性检漏、定量测量的优势。通过应用方案的介绍、理论计算以及实例分析,体现了氦质谱在电气设备检漏工作中较大的应用价值。