纳米氧化铜尺寸效应对其湿度传感特性的影响

作者：姜慧娜; 宋小军; 刘伟景; 李高芳; 黄宁; 赵婉婉; 石张军

来源：微纳电子技术, 2018, 55(09): 630-634.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2018.09.003

• 湿度传感器
• 氧化铜纳米结构
• 水热合成法
• 比表面积
• 传感特性

通过水热法制备3种尺寸的氧化铜(CuO)片状纳米结构,采用介电泳方法将所制备纳米结构定位到预先设计的Ti/Au电极上,以此为基础来构建湿度传感器并进行传感特性测试。实验结果表明:氧化铜纳米结构尺寸为4,3和1μm,相对应所构建的湿度传感器的灵敏度分别为0.436,0.665和0.891 kΩ/RH%。发现氧化铜纳米结构的尺寸越小,以之为敏感元件的湿度传感器的灵敏度越高。结合多层吸附理论模型,深入讨论了纳米结构尺寸对湿度传感特性的影响。分析结果表明,通过对依赖于纳米结构尺寸的比表面积和表面原子活性的调控,可以有效改善纳米湿度传感器灵敏度等性能。

• 单位
  上海电力大学