浅谈快速热处理工艺及其温度检测与控制

作者：曹艳

来源：电子测试, 2019, (17): 104-105.

DOI：10.16520/j.cnki.1000-8519.2019.17.043

• 快速热处理
• 集成电路制造工艺
• 温度传感器

文章针对工艺过程中瞬时温度的检测和控制,结合测温实验从温度传感器、腔体结构、加热源几个方面分析了快速热处理设备的关键技术。

• 单位
  苏州工业园区职业技术学院