NDIR乙烷气体传感器中滤光膜的研制

作者：王平贵; 付秀华^*; 张静; 刘冬梅

来源：长春理工大学学报(自然科学版), 2019, 42(04): 42-45.

• NDIR
• 光学薄膜
• 滤光膜
• 乙烷
• 气体传感器

为满足NDIR乙烷气体传感器的使用要求,对气体探测系统中的滤光膜进行研制。根据甲烷与乙烷气体分子的红外吸收光谱,红外探测器的响应度以及系统的灵敏度确定了滤光膜的技术参数。选用Ge和Nb2O5分别作为高低折射率薄膜材料,根据拆分技术原理并借助膜系设计软件完成了滤光膜的双面设计,解决了滤光膜截止区域宽,且单面设计膜层应力过大的问题。采用直流脉冲磁控溅射真空镀膜的方法,制备的滤光膜在中心波长6.7μm处的透过率为72.09%,半峰值带宽为301nm,2.5～6.3μm和7.1～10μm的平均透过率为0.13%和0.01%,减小了其余干扰气体的影响,提高了探测系统的信噪比。薄膜样品经过了附着力测试,满足系统使用要求。

• 单位
  长春理工大学