首先,提出了一种用化学反应动力学来研究半导体点缺陷浓度统计分布的理论;其次,用这个理论来研究了有2次施主能级的n型金属氧化物费米能级EF,给出EF的下限EFm为Ed2-RTln2;第三,用泊松方程的解和电中性方程来估算费米能级,得出EF的上限EFM为Ed1-RTln2.